人民網(wǎng)北京11月16日電?第十三屆中國國際半導體照明論壇（SSLCHINA 2016）于11月15日在北京國際會議中心開幕，其中，“材料與裝備技術”分會是本屆論壇的固定分會組成之一。記者了解，今年“材料與裝備技術”分會依舊兼顧前沿大勢與實用技術的搭配。中科院半導體研究所研究員、中科院半導體照明研發(fā)中心副主任、國家半導體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟副秘書長王軍喜擔任分會中方主席，分會外方主席則由佐治亞理工大學電氣和計算機工程學院的教授Russell Dupuis擔任。
此外，分會報告嘉賓陣容也十分強大——特邀中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所、北京大學、北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司、美國新澤西理工學院、荷蘭飛利浦、德國愛思強股份有限公司、美國維易科(Veeco)精密儀器有限公司、中微半導體、北京康美特科技有限公司等國內外大學、研究機構、知名設備及材料商嘉賓做演講報告。
會上，德國愛思強股份有限公司應用工程CCS高級部門經(jīng)理Adam R Boyd介紹了使用Aixtron AIX R6 MOCVD設備大規(guī)模生產(chǎn)InGaN基藍光LED主題報告。來自另一設備巨頭美國維易科的市場營銷總監(jiān)Mark Mckee則在報告中介紹了通過高性能As/P MOCVD和離子束濺射技術加快光子發(fā)展情況，他表示，隨著人們對數(shù)據(jù)通信、傳感、紅外照明和光纖泵浦的需求增多，光子器件如VCSEL激光器、EE激光器等將越來越受歡迎?！拔磥砦迥戡F(xiàn)有和新增應用將呈現(xiàn)兩位數(shù)增長，MOCVD技術和設備滿足了光子制造商對生產(chǎn)設備的需求，這是器件制造邁出的關鍵一步，MOCVD技術的性能要求和技術創(chuàng)新滿足了客戶日益增長的需求，這些創(chuàng)新必然推動高收益和生產(chǎn)力，降低制造成本和增強設備制造商的盈利能力?！盡ark Mckee表示。
近年來，中國國產(chǎn)設備商也逐漸崛起，并形成一定的競爭優(yōu)勢。國產(chǎn)設備廠商中微半導體高級工藝工程師李洪偉、北方微電子公司PVD裝備事業(yè)部總經(jīng)理丁培軍均在會上分享了自身核心技術及設備研究進展。
據(jù)悉，材料與裝備是半導體照明的重要基礎，更是產(chǎn)業(yè)發(fā)展壯大的“幕后英雄”，因此，材料與裝備性能的提升一直是業(yè)內人士非常關注的話題。隨著半導體照明進入新的發(fā)展階段，進一步提高LED的發(fā)光效率和降低LED的制備成本則顯得尤為重要。在外延方法、能量轉換效率、熱能管理、生產(chǎn)設備和工藝過程控制方面，LED仍有很大提升空間。